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苑博士講鉆石：CVD反應(yīng)爐的種類及分析
發(fā)布時(shí)間：
2022-01-12 00:00
1，熱絲 Hot Filament
2，直流電弧噴射 DC Arc Jet
3，微波等離子 Microwave Plasma
前二種適合生長(zhǎng)多晶薄膜。微波分為2450MHz及915MHz兩種頻率， 后者可以做到25到100KW的功率，其托盤直徑可達(dá)4-8英寸，較前者的生產(chǎn)效率（6KW，2英寸）高很多，大型設(shè)備是未來(lái)CVD爐的趨勢(shì)。
等離子CVD反應(yīng)爐廠牌及分析：
1、中國(guó)普萊斯曼 直流電弧噴射式CVD爐，適合做多晶金剛石片，等離子體溫度極高，約為6000ºC。
2、日本 Cornes (SEKI) 直筒式，快長(zhǎng)后HPHT改色會(huì)有灰黑色產(chǎn)生，慢長(zhǎng)可直接長(zhǎng)白；SDS6K掀蓋式，快長(zhǎng)后HPHT改色可以產(chǎn)生正常白色。
3、德國(guó) Iplas Cyrannus，適合生長(zhǎng)大面積多晶片，長(zhǎng)單晶會(huì)有灰黑色。
4、法國(guó)/瑞士 Plasmadiam SSDR150直筒式，快長(zhǎng)后HPHT改色會(huì)有灰黑色產(chǎn)生，慢長(zhǎng)可直接長(zhǎng)白，四周多晶會(huì)外擴(kuò)非常大。
5、德國(guó) Aixtron 915MHz 60kW，全世界體積最大臺(tái)。諧振腔為大橢圓球形，生長(zhǎng)腔體為玻璃鐘罩，快長(zhǎng)后HPHT改色會(huì)有灰黑色產(chǎn)生，適合生長(zhǎng)大面積（6英寸）多晶。
6、美國(guó) Lightbox直筒式6英寸托盤，快長(zhǎng)后HPHT改色可以產(chǎn)生正常白色，現(xiàn)為全世界最好的機(jī)型。
7、中國(guó) 東莞優(yōu)普萊、成都沃特塞恩（紐曼和瑞）、成都華宇
、成都穩(wěn)正、上海鉑世光、無(wú)錫遠(yuǎn)穩(wěn)，所有機(jī)型快長(zhǎng)后，HPHT改色會(huì)有灰黑色產(chǎn)生，慢長(zhǎng)部分可長(zhǎng)稍白，部分淺灰。
直流電弧噴射式CVD爐
直流電弧噴射式CVD生長(zhǎng)中之等離子體
筆者2008年元月份利用直流電弧噴射式CVD爐生長(zhǎng)出第一顆CVD單晶培育鉆石
日本 Cornes (SEKI) SDS6K
日本Seki公司于1999年采用美國(guó)ASTeX公司的專利技術(shù)研發(fā)成功了微波等離子體化學(xué)氣相沉積金剛石系統(tǒng)，并向全世界銷售了500臺(tái)以上的設(shè)備用于實(shí)驗(yàn)與商業(yè)生產(chǎn)。2014年被Cornes公司并購(gòu)，生產(chǎn)的掀蓋式SDS6K型MPCVD設(shè)備沿用了Seki的技術(shù)。
SEKI 0.915GHz Model AX6600 100kW
華盛頓DC卡內(nèi)基研究所地球物理實(shí)驗(yàn)室，使用日本 SEKI 制造的微波 CVD 反應(yīng)器。
德國(guó) Iplas Cyrannus
法國(guó)/瑞士 Plasmadiam SSDR150
Aixtron 915MHz 60kW
德國(guó) Aixtron 915MHz 60KW 微波輻射路徑在橢圓室內(nèi)形成等離子體
Lightbox直筒式諧振腔CVD爐
Lightox 現(xiàn)用6英寸托盤的CVD爐示意圖
Lightox的微波CVD機(jī)器是全球生長(zhǎng)首飾培育鉆石最好的設(shè)備，可以快長(zhǎng)直接或處理后顏色正白，不帶灰黑，托盤為6英寸，性價(jià)比最好，是未來(lái)其他廠家改進(jìn)的目標(biāo)。如果達(dá)到同樣的機(jī)器效果，Lightox在美國(guó)生長(zhǎng)，我們?cè)谥袊?guó)生長(zhǎng)，所有的開(kāi)銷均較他們?yōu)榈?，可以不怕他們的低價(jià)政策。
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